全效高精度取放系統
| 尺寸 | 寬 x 深 x 高 |
| 1,460 x 2,300 x 2,100 mm |
特色
晶圓級扇出工藝及嵌入式封裝的先驅
支持覆晶及直接固晶模式，并可執行局部對準及整體對準
特大基板處理能力
支持特大固晶壓力及熱壓固晶工藝
配置全自動工具轉換系統，實現多晶固晶工藝
固晶制程符合潔凈度 100 級的要求
其他配置
NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片處理能力
NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板處理能力
135-1032-1270
聯系人：張先生
郵 箱：3120537959@qq.com
地 址：深圳市寶安區福海街道塘尾社區荔園路142號翰宇灣區創新港4號樓二層
